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氦质谱检漏仪检漏原理及方式：氦质谱检漏仪的检漏方式，氦质谱检漏仪的检漏方式通常有两种，石墨双极板，一种为常规检漏，另一种为逆扩散检漏。逆扩散检漏是把被检件接在分子泵出气口一端，漏入的氦气由分子泵出气口逆着泵的排气方向进入安装在泵的进气口端的质谱管内而被检测。这一检漏方式是基于分子泵对不同质量的气体具有不同压缩比(气体在分子泵出气口压强与进气口压强之比)即利用不同气体的逆扩散程度不同程度而设计的。逆扩散原理：逆扩散方式检漏允许被检件内压强较高，氦质谱检漏仪可达300Pa(一般常规检漏仪为0.05Pa以下)，适合检大型容器或有大漏的器件，也适合吸检漏。逆扩散方式还具有质谱管不易受污染，灯丝寿命长等优点。

如何检测小型冷库设备的真空性？

(1)逆时针旋下吸气截止阀用通道的细牙螺塞，柳州板，顺时针旋转吸气截止阀杆数圈，使吸气截止阀处于三通状态。

(2)用带有三通修理阀和真空压力表的软接管将真空泵与吸气截止阀上的多用接口连通好。

(3)打通系统内的所有阀门(包括电磁阀和手动阀等)。

(4)接通真空泵电源，双极板价格，对系统抽真空，直至真空压力表的读数达到--0.1MPa，适当时间后将吸气截止阀杆逆时针旋转退出并旋紧。

(5)保持18~24h，若真空度不变，mea，则认为制冷系统真空试验合格。

真空检漏的必要性及影响系统真空度的气体来源：真空系统要求获得并保持真空状态，如果存在严重的漏气则是系统的重大缺陷，那么就需要进行相关的真空检漏。透气和漏气的本质不同。透气是气体从密度大的一侧向密度小的一侧渗入、扩散、通过和逸出的过程，任何材料都有一定的渗透率。漏气是由于材料本身的缺陷或封口部不良，导致气体分子从高压侧流向低压侧的现象。还有一种情况是常温下不发生漏气，但温度变化时由热膨胀系数的差异也可能导致漏气。图1是影响系统真空度的气体来源示意图。