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严格地讲，任何真空系统都有漏气现象存在，金属双极板价格，漏气是一定的。针对不同的真空系统，电堆，可以容许有一定的漏率。目前的真空技术，可以确保超高真空系统的容许漏率≤1.33×10-11Pa.m3/s。真空检漏已经成为真空系统制作和使用中不可缺少的环节。真空检漏的方法多种多样，比较具代表性的氦质谱检漏和四极质谱仪残留气体分析。

辅助真空系统：对子漏气速率和放气速率较大或者体积较大的被检件，若直接与检漏仪相连，检漏仪的真空度可能抽不上去，使检漏仪无法工作。此种情况须加接辅助真空系统，提高对被检件的抽速。比较简单的辅助真空系统只需一个机械泵和两个阀门，复杂的系统可由前级泵、次级泵、阀门、真空规及标准漏孔等组成。次级泵可用扩散系或罗茨泵，前级系用气镇式机械泵比较好。

天然l气检漏仪开机后使用：天然l气检漏仪开机的时候，是有一定的响应时间的，通常在30-90s左右，膜电极，是为了让天然l气检漏仪充分启动，各种功能都达到待定的标准，只需要轻安开机键，然后等待就可以了。待天然l气检漏仪充分开机启动后，不需要进行任何设置，只需要手拿着天然l气检漏仪，板，在待测的场所中，对着要检测的地方，保持一段时间的检测，来看天然l气检漏仪显示屏上的数值，就实现了具体的使用。